半導體產業相關產品
在以半導體製造裝置為首的最尖端產業領域,以往的軸承已經無法滿足使用要求,於是,就需要開發新的高性能軸承。Koyo開發的“EXSEV軸承系列”正是能夠滿足此類需求的高性能軸承系列。對於半導體和液晶製造設備來說,高潔淨度此項要求必不用說,根據製程的不同,與環境的不同,衍生出因應各種嚴苛環境的軸承,例如:高溫,耐蝕,非磁性,高真空,超高真空等軸承。
熱處理成膜裝置軸承
〈功能〉
熱處理成膜裝置採用的是在高溫環境下也可以潤滑的特殊規格軸承
EB曝光裝置軸承
〈功能〉
由於EB曝光裝置的軸承用於強磁場環境,因此採用的是非磁性材質的陶瓷軸承。
蝕刻裝置軸承
〈功能〉
由於蝕刻裝置軸承曝露於蝕刻劑的狀態下使用,所以採用的是耐腐蝕性的PTFE塗層陶瓷材質軸承。
離子注入裝置軸承
〈功能〉
離子注入裝置的真空室內採用的是淨化軸承,可避免在真空中進行潤滑,受到磨損等而產生雜質。
濺射裝置軸承
〈功能〉
濺射裝置的高溫,真空部分採用的是高溫Clean Pro規格的軸承。
CMP裝置軸承
〈功能〉
由於CMP裝置軸承曝於研削液的環境下,所以採用的是耐腐蝕的PTFE塗層陶瓷軸承。
陶瓷軸承
〈特點〉
套圈或滾動體使用陶瓷材料(氧化矽Si3N4)的軸承。充分利用陶瓷的特性,可對應各種特殊環境。
K系列 超薄壁球軸承
Koyo的 K系列超薄壁球軸承是為了滿足“輕・薄”的技術需求而應運而生的產品,多用於產業用機器人等要求自動化・省力化的機器。根據該軸承的尺寸不同可分成9個尺吋系列,同一系列內的軸承不管內徑大小,都擁有相同的截面尺寸。此外,在構造上有以下三種型式。
深溝型
〈特點〉
角接觸型
〈特點〉
接觸角為30°,可承受徑向負荷和單向軸向負荷。通常將兩個該軸承相向組合使用。
四點接觸型
〈特點〉
左右接觸角都是30°,1個該軸承可承受雙向軸向負荷,也可承受力矩載荷和徑向載荷。